ドライスクリュー真空ポンプの専門サプライヤー
工業用ドライ スクリュー真空ポンプ ソリューションは、オイルフリー性能、厳格なプロセス ガス適合性、連続デューティ サイクル、予測可能なメンテナンス スケジュールが重要な運用要件である製造運用向けに設計されています。{0}
製品ポートフォリオには、攻撃的な化学ガス、凝縮性蒸気、微粒子負荷、および厳しい生産スケジュールを伴う環境向けに設計された産業用ドライスクリュー真空ポンプと統合真空システム構成が含まれます。特定のプロセスの要求に応じて、利用可能な構成には、最適化された排気速度、到達真空レベル、カスタマイズされた冷却方法、モーター仕様、補助パージ システム、およびモジュール式アクセサリが含まれます。
技術仕様の概要
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技術的パラメータ |
標準産業用シリーズ |
-耐久性の高い化学薬品およびプロセス シリーズ |
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公称排気速度 |
100~3000m3/h |
100 ~ 3000 m3/h (ルーツブースターにより拡張可能) |
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到達圧力限界 |
10-2 ~ 10-3 mbar まで低下 |
10-2 ~ 10-3 mbar まで低下 |
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ローター構成材 |
保護仕上げを施した高級ダクタイル鋳鉄- |
特殊なステンレス鋼または高合金のオプション- |
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ケーシングとチャンバーの処理 |
一体型冷却ジャケットを備えたモジュラー鋳鉄 |
耐薬品性の内部防食処理- |
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冷却構成 |
一体型空冷または直接水冷 |
制御された閉ループ水冷システム- |
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モーターのコンプライアンス |
IE3 / IE4 高効率産業用モーター- |
防爆-/ATEX 認定モーター オプション |
私たちを選ぶ理由
実証済みのエンジニアリングおよび製造の専門知識
産業用真空および圧縮技術における数十年にわたる専門的な経験は、精密機械加工、高度なローター バランシング装置、厳格な社内品質テスト プロトコルに裏付けられています。-
徹底した品質保証
すべてのポンプは、ヘリウム漏れ検出、振動分析、模擬負荷条件下での性能検証など、厳格な工場受け入れテストを受けています。
世界的な供給と技術サポート
堅牢な国際物流管理、正確な輸出コンプライアンス文書、および海外の産業施設へのシームレスな統合を保証する応答性の高いエンジニアリング サポート。

動作特性
ゼロチャンバー潤滑
圧縮ゾーンに流体がないため、油密封システムに伴うプロセス汚染のリスクが排除されます。{0}}
-非接触ローター
ローターとハウジング間のクリアランスにより、連続運転時の機械的摩耗が最小限に抑えられます。
可変ピッチ設計
最新のスクリュー プロファイルは可変ピッチ形状を利用して内部圧縮比を最適化し、動作温度を制御します。
堅牢な熱管理
制御されたジャケット冷却により、高ガス負荷時の局所的な過熱を防ぎます。
代表的な産業用途
半導体とエレクトロニクス
真空チャンバー、薄膜堆積、エッチング サポート、ロードロックの排気-。
リチウム電池の製造
電極の乾燥、溶媒の回収、湿気に敏感な材料の処理-。
化学および医薬品の処理
凝縮性蒸気を伴う蒸留、溶媒蒸発、脱気、および反応器の排気。
フリーズドライ(凍結乾燥)
昇華による水分の除去には、高い蒸気処理能力と耐腐食性の内部構造が必要です。{0}
熱処理と冶金
信頼性の高い、長いサイクルの真空完全性を必要とする-高温工業炉。-
真空コーティングシステム
多段ブースター構成を利用した PVD、CVD、および表面処理のセットアップ。-

動作サイクル中、プロセスガスは吸引フランジを通って入り、ねじ山とハウジング壁によって形成される容積内に閉じ込められます。
逆回転スクリューが回転すると、閉じ込められたガス量が排出ポートに向かって軸方向に物理的に輸送されます。ガスが大気圧に逆らって排出される前に、スクリューの長さに沿って体積が減少すると、内部圧縮が発生します。
実用的なエンジニアリングの利点
クリーンチャンバー:流体の劣化を排除し、真空ゾーンでの定期的なオイル交換のダウンタイムを排除します。{0}}
ナメクジに対する高い耐性:ガスバラストまたは熱管理を適切に構成すれば、中程度の液体スラグまたは凝縮性負荷を処理できます。
簡素化されたメンテナンス:ロータリー ベーンやオイルシール システムと比較して、消耗品の交換が減ります。{0}}
性能は、ローターの冶金学、熱クリアランス設計、シーリング配置、および下流の排気背圧によって厳密に支配されます。
産業環境における故障モードと予防
潜在的な障害リスクを理解することで、運用の信頼性が高まります。
結露と液体の浸入
ケーシング内の正しい高い動作温度を維持し、ガスパージシステムを利用することによって処理されます。
微粒子の蓄積
適切な入口微粒子フィルターを取り付け、ローターの適切なクリアランスを選択することで防止できます。
腐食とコーティングの剥離
内部の耐薬品性コーティングと特殊な冶金を特定のガス マトリックスに直接適合させることで軽減されます。{0}
メンテナンスと保守性
ドライ スクリュー真空ポンプは、オイルシール式のポンプに比べてメンテナンスのダウンタイムを短縮しますが、標準的な予防ケアが必要です。{0}
ギアボックスの潤滑
タイミングギヤ潤滑油の定期点検と定期交換。
シャフトシールパージ
パージガスレギュレーターと流量を監視してシールの完全性を保護します。
吸気および排気濾過
上流フィルターを定期的に検査し、異物による損傷を防ぎます。
製造、試験、および品質管理の基準
高精度ローター加工:スクリュー ローターは多軸 CNC フライス センターで加工されており、噛み合うプロファイル間の正確な微小クリアランスを維持し、熱膨張時の機械的接触を回避しながら内部ガスの滑りを防ぎます。-
ダイナミックローターバランシング:すべてのスクリュー ローターは高速ダイナミック バランシングを経て、動作振動を排除し、ベアリングの寿命を延ばし、継続的な産業シフト中の騒音レベルを低減します。{0}
冶金トレーサビリティ:ローター、ハウジング、内部シャフトの原材料は、機械的ストレスや化学的劣化に対する耐性を保証する完全な材料試験レポートを備えた検証済みの工場から調達されています。
工場受け入れテスト (FAT):組み立てられたすべてのポンプは、発送前に、実際の排気速度の測定、消費電力の検証、真空の完全性を確認するヘリウム漏れテスト、負荷時の熱安定性チェックなどの厳格なテストプロトコルを受けます。
よくある質問
豊富な経験により、当社は中国で最も専門的なドライスクリュー真空ポンプのメーカーおよびサプライヤーの1つです。中国製のカスタマイズされたドライスクリュー真空ポンプをここの工場からお気軽に購入してください。お見積りについては、今すぐお問い合わせください。
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