間違いは許されない
作業によっては、作動するポンプ以上のものを必要とする場合があります。半導体産業もその一つです。ほんの少しの油がウェーハ全体を台無しにする可能性があります。そのため、当社はドライスクリュー半導体真空ポンプを提供しています。これらのポンプのポンプ室内にはオイルがありません。ガス経路が短い。これは、内部に留まる粒子が少なくなることを意味します。クリーンで安定した真空が得られます。
クリーン作業に安心のモデル
当社の製品にはIDP850が含まれます。 850 m3/h の速度が得られます。 IDS1100 は、18.5 kW で 1030 m3/h を供給します。 IDP1100 も 1030 m3/h を提供しますが、出力は 22 kW です。これら 3 つすべてがプロセスをクリーンに保ちます。故障しない半導体真空ポンプとして多くのお客様に選ばれています。チップ工場のダウンタイムは多額の費用がかかります。したがって、私たちはこれを非常に真剣に受け止めています。
高速応答で走り続けられる
共通部品の在庫を構築します。交換が必要な場合は、迅速に発送いたします。エージェントは、安定した実行と迅速な応答が主な利点であることを顧客に伝えることができます。当社の半導体真空ポンプを使用すると、両方が得られます。お電話に迅速に対応いたします。問題の解決をお手伝いします。それが私たちがあなたのラインを動かし続ける方法です。
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名前 |
モデル |
最大排気速度 (m³/h) |
定格電力 (kW) |
最高速度(rpm) |
外形寸法(mm) |
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ドライスクリュー真空ポンプ |
IDP850 |
850 |
18.5 |
3300 |
1907*868*787 |
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IDS1100 |
1030 |
18.5 |
3600 |
1700*650*750 |
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IDP1100 |
1030 |
22 |
3600 |
1907*868*787 |
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